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      先進封裝用靶材

      8~12寸先進封裝用靶材

      Material

      Purity

      Configurations

      Al & Al alloy

      5N, 5N5

      NMC

      Oerlikon (Balzer) TM

      NEXX TM

      Aviza (Trikon) TM

      Tango TM

      AMAT TM

      Cu

      4N5,5N, 6N

      CuP

      3N5, 4N5,5N

      Ti

      4N5, 5N

      Ni

      4N, 4N5

      NiV, NiPt

      3N5,4N

      WTi

      3N5,4N,4N5

      Ag

      4N,5N

      Au

      4N, 5N

      Pt

      4N,5N